SK, 불화수소 양산 시작…일본 수출규제 1년만
산업·IT 입력 2020-06-17 13:54
수정 2020-06-17 19:07
정새미 기자
[서울경제TV=정새미 기자]
SK가 지난해 일본의 수출 규제를 받았던 초고순도 불화수소 가스 양산에 돌입했습니다.
SK그룹은 오늘(17일) SK머티리얼즈가 최근 초고순도(순도 99.999%) 불화수소(HF) 가스 양산을 시작했다고 밝혔습니다. HF는 반도체 제조에 쓰이는 가스로 반도체 공정 미세화와 함께 수요가 급증하고 있지만, 해외 의존도가 100%에 달했습니다.
SK머티리얼즈는 이번 양산을 통해 2023년까지 국산화율을 70%까지 끌어올린다는 계획입니다.
이와 함께 고부가 포토레지스트 영역에서도 국산화 작업을 본격화해 하드마스크(SOC)와 불화아르곤 포토레지스트(ArF PR) 개발에도 나선다는 방침입니다. / jam@sedaily.com
정새미 기자 산업1부
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