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에스앤에스텍, 삼성전자, 파운드리 EUV 펠리클 '전면 도입'에 강세

증권 입력 2021-08-09 15:14 배요한 기자 0개

[서울경제TV=배요한기자] 삼성전자가 펠리클 적용 범위를 대폭 확대한다는 소식에 에스앤에스텍이 강세다.

9일 오후 3시 13분 현재 에스앤에스텍은 전 거래일 대비 6.37% 오른 3만5,900원에 거래되고 있다.

이날 업계에 따르면 삼성전자는 반도체 극자외선(EUV) 노광 공정에 도입하기로 한 펠리클 적용 범위를 바꾼 것으로 알려졌다. CPU와 GPU 등 큰 칩에만 적용하려던 계획을 모든 칩 생산에 적용한다는 방침이다. 이는 삼성전자 최시영 파운드리사업부 사장의 특별 지시로 이뤄졌다.

이에 펠리클과 EUV용 블랭크마스크 관련 업체인 에스앤에스텍이 주목받는 것으로 풀이된다.

에스앤에스텍은 1세대 실리콘 기반 EUV 펠리클을 출시한 이후 지난 1분기 양산 공정 단계에 이를 적용한 것으로 알려졌다. 2022년과 2023년에 사용될 미세공정에 대응하기 위한 메탈, 나노 소재 기반 2·3세대 EUV 펠리클 개발도 진행하고 있다. /byh@sedaily.com

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